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洁净车间

半导体车间的空气过滤器装的是什么类型呢?

作者: 佳合空气过滤器 编辑: 佳合空气过滤器 来源: 佳合空气过滤器 发布日期: 2020.07.06
信息摘要:
粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路,粉尘直接影响产品的成品率。所以半导体工业(芯片厂)对生产环境空气洁净程度高挑剔。这个时候就需要借助空…

粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路,粉尘直接影响产品的成品率。所以半导体工业(芯片厂)对生产环境空气洁净程度高挑剔。这个时候就需要借助空气过滤器来帮忙,所以一般对空气过滤器的要求也比较苛刻。

衡量芯片集成度的指标之一是线宽,即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代,人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10,随着线宽不断变小,1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年,普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm,此时任何粉尘都可能损害电路,粒径与线宽的传统比较已经过时了。

芯片厂传统的通风形式是大循环,车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。现在芯片厂,有些车间使用自带风机的过滤装置,即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度,只是在运行管理和能耗上有所差异。不论是普通高效过滤器还是FFU,出厂前都要经过严格的测试和检验。顶液槽高效过滤器

空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌,但空气中海盐粉尘的颗粒比较大,普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸,可沿海地区经济发达,芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,在过滤器上多花点钱就是了。

当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5mm时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂,它就是活性炭过滤器,但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车,芯片厂的化学过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。

化学污染物的来源可能是:室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点:广谱吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些,能有这种功能的就是比较普通、比较便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类,就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定化学过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的专家,并与名气大的化学实验室有密切的关系。遗憾的是,国内过滤器厂商没有几家在那上面下功夫,所以国内芯片厂目前使用的化学过滤器多数是进口产品。

半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”,它也有环境问题。那里经常采用先进的工艺和材料,有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经大量使用了,稍不小心就会造成严重的化学污染,既有地下水污染,也有空气污染,硅谷就曾为此付出过惊人的代价。为了保险,有些企业在排风系统中也使用化学过滤器。

中国正处在新一轮芯片厂建设的狂热中,为此,今后几年国内需要数亿元的高效过滤器和化学过滤器,如果国内过滤器商家像以往那样只热衷于抄袭、猜疑、各顾各地瞎忙活,不在技术上进取、不相互交流,芯片厂这个难得的市场将属于外来者。

空气过滤器在各行各业中有着不可替代的作用,也使得空气过滤器得到普遍运用,使各地的空气过滤器厂商不断的出现,我们购买时要非常谨慎,要找口碑和质量靠得住的生产厂商,昆山佳合净化科技有限公司生产初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器、耐高温过滤器、自带风机过滤单元(ffu)及其他净化设备和洁净室产品已有十多年的时间,技术,质量,服务等方面都有着丰富的经验。你有任何关于技术,材料方面的问题,都可以咨询佳合净化的销售团队,他们根据的实际情况出发,帮你解决您的需求!

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