电子洁净室通过控制空气中的尘埃粒子、微生物、化学污染物等，为电子产品的生产提供了理想的环境。而高效过滤器作为洁净室空气净化系统的重要心组件，其正确选择直接关系到洁净室能否达到预期的洁净等级，保障生产的顺利进行。

认识高效过滤器的类型及特点：

HEPA 高效过滤器是电子洁净室中应用较多的过滤器类型之一。其滤材通常采用超细玻璃纤维，纤维直径≤1μm，通过多层折叠增加过滤面积，提高过滤效率。HEPA 过滤器具有以下特点：

过滤效率高：如前文所述，H13 级和 H14 级 HEPA 过滤器能够对≥0.3μm 的粒子实现极高的过滤效率，满足大多数电子洁净室的洁净度要求。

阻力适中：初始阻力一般在 200 - 250Pa 左右，在过滤器的使用寿命内，阻力增长相对缓慢。这意味着在保证高效过滤的同时，不会给空气净化系统带来过大的能耗负担。

适用性强：适用于多种电子生产场景，无论是大规模集成电路制造、电子设备组装，还是液晶面板生产等，都能找到合适规格的 HEPA 过滤器。

ULPA 超高效过滤器在电子行业中主要应用于对洁净度要求极高的工艺环节。其与 HEPA 过滤器相比，具有更高的过滤效率，能够过滤掉 0.12μm 甚至更小粒径的粒子。ULPA 过滤器的特点如下：

超高过滤效率：U15 - U17 级的 ULPA 过滤器对≥0.12μm 粒子的过滤效率高达 99.9995% - 99.999995%，为超精密电子制造提供了可靠的保障。

结构设计精密：为了实现超高的过滤效率，ULPA 过滤器在结构设计上更加精密，滤材的折叠方式、分隔物的选择等都经过精心优化，以确保气流在过滤器内能够均匀分布，充分发挥滤材的过滤性能。

成本较高：由于其对滤材、制造工艺和检测要求更高，ULPA 过滤器的成本相对 HEPA 过滤器要高出许多。因此，在选择 ULPA 过滤器时，需要根据实际的洁净等级需求谨慎决策，避免过度投资。

有隔板高效过滤器：采用铝箔、纸隔板或塑料隔板将滤材分隔成多个小单元，形成 V 型通道。这种结构使得过滤器具有较高的容尘量，能够在较长时间内保持稳定的过滤性能。有隔板高效过滤器适用于大风量的空气净化系统，如大型电子洁净室的集中送风系统。然而，由于隔板的存在，有隔板高效过滤器的厚度较大，一般在 220 - 300mm 之间，占用空间较多。

无隔板高效过滤器：以热熔胶或聚氨酯胶替代隔板，将滤材紧密折叠成 V 型或 W 型。无隔板高效过滤器的突出优点是结构紧凑，厚度通常为 60 - 90mm，大大节省了安装空间。这使得它非常适合在空间有限的电子洁净室中使用，如 FFU（风机过滤单元）、层流罩等设备。此外，无隔板高效过滤器在同等尺寸下，过滤面积比有隔板过滤器更大，能够提供更高的过滤效率。但相对而言，其容尘量可能略低于有隔板过滤器。