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洁净车间

FFU系统在洁净无尘室中的应用

作者: 佳合空气过滤器 编辑: 佳合空气过滤器 来源: 佳合空气过滤器 发布日期: 2020.04.17
信息摘要:
FFU系统是在日常生活中是不常见的,只有系统工程师或者从事洁净室设计、装修的相关人员才了解,见过这一些,就算是处于FFU环境系统范围下的工作…

FFU系统是在日常生活中是不常见的,只有系统工程师或者从事洁净室设计、装修的相关人员才了解,见过这一些,就算是处于FFU环境系统范围下的工作人员都不是很清楚什么是FFU系统。在很多微电子行业、半导体、生物制药行业中。FFU是应用范围很广的。

洁净室的气流速度 、 换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论; FFU 在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决。 FFU 系统的应用

当前 FFU 的情况

FFU 在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是:

(1) 采取均流及减少噪音的措施,噪音可在 50db 以内 ;

(2) 电动机采用 DC/EC (电子整流电机),以耗较原交流电机节约近 50% ,因为小风机所用小容量(功率 <1/2HP )的交流电机,一般皆为电容分相式或隐极式,其效率仅 40% 左右,而 DC/EC 电机的效率可达 75 ~ 80% ;在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗,但目前投资回收期尚长而未广泛采用,一般常用分组群控或全部群控。

(3) 但 FFU出口静压不能过大,一般采用出口风速成 0.38m/s ,此时其静压一般在 250Pa 以内。

3.2FFU系统 与其他方式相比的优点

3.2.1 一般评价

优点:FFU风机过滤单元

(1) 灵活性大,便于改造;

(2) 占用建筑物空间较少;

(3) 洁净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室对洁净室污染的可能性。

缺点:

(1) 要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时),总共应控制在 165Pa 左右,以满足运行时最大阻力在 250Pa 以内。因此干表冷器的传热面积要较大,回风道尺寸亦要较大,多孔地板及格栅等的阻力要小,一般作法是:控制干表冷器阻力在 50Pa 左右,回风道阻力在 15Pa 以内,否则就需要再增设加压风机系统,这就是降低了 FFU 系统的综合优点。

(2) 采用 DC/EC 电机后,单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低,但已有研究指出,比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。

(3) 一般FFU系统由于单位风量的能耗较大,因此洁净室的冷负荷亦相应增加。

3.2.2 具体情况下的评价

(1)FFU 用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。

(2) 洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率 100% 时,对大的系统采用 FFU ,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。

(3) 对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率 ≤40% 时对大系统综合经济性往往相差不多,但对 IC 工厂而言 FFU 系统的灵活性是重要的,因此当前 IC 工厂对过滤器满布率 ≤40% 时,采用 FFU 系统已经普遍。

  如今生物洁净安全、生物制药、医疗器械这一块离人们越来越近,在这次新冠疫情期间,大家也了解了医疗器械、生物制药这块。与人民的生命安全,息息相关。空气过滤器品牌制造厂商佳合净化。 FFU系统一直为其保驾护航。

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