芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个顶棚上布满高效空气过滤器，整个地面为回风栅板。现在很多芯片厂使用自带风机的过滤装置，即FFU。 空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大，普通空气过滤器就能将其过滤掉。

空气过滤器的更换和使用：

1、过滤器的使用：粗效、中效、高中效、亚高效、高效、超高效6种过滤器各有各的用途，需要正确使用，如果使用不当，不但不会起作用而且还会产生不良甚至相反的效果。因此，设计、建造和维护管理洁净室的人员要特别注意。粗效过滤器是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是过滤大颗粒的粒子，以保护其后的空调设备（如表冷器和加热器等）和中效以及高效过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。中效过滤器一般设在空调箱的正压段，其作用是保护亚高效、高效过滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0?m的中小粒子。一般情况下，中效过滤器是中间过滤器，不能做预过滤器用，也不能做终端过滤器。高效和超高效过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。高效过滤器（HEPA）是洁净室需要的终端过滤器。而超高效过滤器是0.1?m，10级、1级或更gap效率的洁净室需要的终端空气过滤器。

2、过滤器的更换：过滤器经过一段时间的运行，当过滤器的阻力达到其终阻力Hz时，一般情况下就要更换了，否则其性能就会下降，达不到应起的作用，甚至会影响系统的正常运行。对粗、中效过滤器而言，有一次性使用后废弃的也有可清洗后继续使用的，不过清洗后的粗、中效过滤器的阻力远比其初阻力大，效率也有所提高。然而亚高效、高效和超高效过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。

空气过滤器特别说明：低效率过滤器一般使用粗纤维滤料，纤维间空隙大，过大的阻力有可能将过滤器上的积尘吹散，这种情况下，过滤器阻力不再增高，但过滤效率降到几乎为零，因此要严格控制粗效空气过滤器的终阻力值！